薄膜物理复习题

电子科大薄膜物理考研期末复习题

2.各种镀膜方法的英文简称

答：PVD：物理气相沉积CVD：化学气相沉积、MBE：分子束外延、sol-gel：溶胶凝胶法、LPCVD：低压CVD、APCVD：常压CVD、PECVD：等离子体增强CVD、MOCVD：金属有机物CVD、、脉冲激光溅射沉积(PLD)、离子束辅助沉积(IBAD)MOD:金属有机物热分解

3.试举例说明薄膜的应用（机械、微电子、光电子、元器件、光学、信息技术、装饰、能源等）

答：一、集成电路：P-N结、绝缘层、导线，并由此构成二极管、三极管、电阻、电容等电子元件。

二、信息存储薄膜：磁盘、光盘

三、集成光电子学：

四、信息显示薄膜：薄膜晶体管液晶平板显示器、OLED

五、薄膜太阳能电池

六、硬质涂层

七、其他：电子元件：表声波器件；

传感器：特点高灵敏，低成本；

光学：反射膜，增透膜；

装饰、包装：镀金，锡箔纸，镀膜玻璃；

第一章真空基础

1.掌握真空、分子平均自由程、饱和蒸汽压、蒸发温度的概念

答：真空：指低于一个大气压的气体状态。

分子平均自由程：定义：每个分子在连续两次碰撞之间所运动的平均路程。

饱和蒸气压的定义：在一定温度下，气、固或气、液两相平衡时，蒸气的压力称为该物质的饱和蒸气压。仅仅是温度的函数。应用例子：湿度

蒸发温度：定义：饱和蒸气压为10-2托左右（唐教材0.1Pa）时的温度。

2.掌握真空的单位及其换算

答：通常用“真空度”及“压强”两个参量来衡量真空的程度

常用单位：

帕斯卡(Pascal)=1牛/米2，国际单位制

托(Torr)=1/760atm=133.322Pa，旧单位

此外，mmHg、atm、bar、mbar等，

换算关系，1bar=105Pa

1mmHg=1.000000014Torr

1atm＝1.01×105Pa

所以：1atm＞1bar，1mmHg≈1Torr

3.理解气体的两种流动状态

答：分子流：气体分子之间几乎不发生碰撞

黏滞流：气体分子之间碰撞频繁

，抽真空的过程4.掌握真空镀膜系统的构成（原理图）

答：典型的真空系统包括：真空室，真空泵，真空计