电子科大薄膜物理考研期末复习题
绪论
1.薄膜制备方法到底有哪些,它们是如何分类的,试列出它们的树形结构
(第一级按干法与湿法分;第二级(干法的分类):PVD、CVD各包含哪些;
第三级:蒸发、溅射、离子镀中各包含哪些)
答:PVD:真空蒸发、溅射、离子镀
CVD:常压CVD、低压CVD金属有机物CVD等离子体CVD光CVD、热丝


CVD
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