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干式螺杆真空泵与三级爪式泵的特性对比
泵型 气体路径 极限真空
干式螺杆真空泵
多级爪式真空泵
单级干式双螺杆真空泵，气体呈直线一三级爪式真空泵，气体在泵内经多次压次性通过泵腔。 缩，路径复杂。 单级即可实现高真空。
经三级压缩排气后实现高真空。 仅有几百立方每小时的小抽量泵，曲线
在几十毫巴以下开始下降。
几乎不能处理液体。泵内路径复杂，通常无防腐措施，且多级压缩使泵内温度升高，有机物在泵内因高温易发生碳化，造成故障。
高效，高能耗，大功率。 冷却水消耗量少。 结构复杂，体积大。 排气温度比较高。原因是
三级爪式泵腔体内的压缩温度非常高，第一级压缩即达200多度，三级压缩后可达300度以上，处理闪点及燃点较低的介质时一般要求在泵进气口和排气口配置火焰阻火器，而火焰阻火器的造价比较昂贵。
噪音大,机组震动大。
由于爪式泵多为小抽量泵，若需实现大抽量则需配合罗茨泵使用，噪音更为显著。
可选泵型从一百到几千个立方每小时
抽量 的抽量，相对抽量范围较宽，且可在几
十毫巴压力下保持大抽速。
可以处理一定量的液体及小颗粒固体。泵内有防腐涂层（如：Nickel,NIFLON, NIFA,
处理可凝性气
PFA 等多种涂层），温度适中，允许流
体能力
程介质在泵内凝结，可夹带一定的液体，且可以安全排放。 高效，低能耗，小功率。
效率 冷却水消耗量少。
结构简单、紧凑，占空少。
排气温度 排气温度稳定且一般低于80度
噪音 噪音低。
几乎免维护。操作简单，维护保养方便，且因能耗小，冷却水需求少，日常运行三级爪泵维护保养比较麻烦，维修较复
日常维护保养
费用低。维修简便，易损件少，维修费杂，尤其是配件价格很高。 用低。
价格
中等。
一次性投入，性价比高。
很贵。
应用
常用于石油化工，制药等工艺，是现代很适用于半导体行业，石油化工行业故化工工艺的优选泵型。 障率较高。
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