干式螺杆真空泵研究现状与展望

干式螺杆真空泵研究现状与展望

第46卷第5期2009年9月

真空VACUUM

Vol.46,No.5Sep.2009

干式螺杆真空泵研究现状与展望

郭蓓1,薛建国2,牛瑞2,张建1,吴炎

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(1.西安交通大学能源与动力工程学院,陕西西安710049;2.江苏亚太泵阀技术有限公司,江苏泰州225400)摘

要：介绍目前螺杆式真空泵现状，分析了螺杆端面型线研究情况和整机冷却中存在的问题，并对下

一步的研究方向进行了展望

关键字：螺杆真空泵；端面型线；机体冷却中图分类号:TB752+.2

文献标识码:B

文章编号：1002-0322（2009)05-0037-04

CurrentsituationandoutlookforR&Dofdryscrewvacuumpumps

GUOBei1,XUEJian-guo2,NIURui2,ZHANGJian1,WUYan1

(1.Energy&PowerEngineeringSchool,Xi'anJiaotongUniv.,Xi'an710049,China;2.YataiPump/valveTechnologyCo.,Ltd,Taizhou225400,China)

Abstract:DescribesthecurrentsituationofR&Dofscrewvacuumpumpsanddiscussestheexixtingproblemsorfocalpoints

studiedrecently,ie.,theendfacescrew-threadprofileandtheconditionsoftheentirepumpduringcooling.Andanoutlookisgivenforwhatwillbestudiedfurtherinthenearfuture.

Keywords:screwvacuumpump;endfacescrew-threadprofile;wholesetcooling

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。

和机体冷却方面做了很多研究。

螺杆泵的技术关键问题。（1）转子端面型线

螺杆真空泵主要部件是一对旋向相反的螺距螺杆，电机的传动轴连接主动转子，通过一对高精度的同步齿轮带动从动螺杆，两螺杆间留有间隙，通过两转子的啮合达到抽气的目的(如图1)。

1研究现状

图1两转子传动示意图Fig.1

Schematicofdual-rotordrive

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子

收稿日期：2008-12-08

作者简介：郭蓓(1973),女，河北省保定市人，博士，副教授。

核心技术是螺杆齿形，不同的齿形直接决定

着泵的极限真空、抽气速率、容积效率、振动和噪声等技术性能指标的差异。目前螺杆真空泵的端面型线主要分为两种，单头转子型线和多头转子型线。如图2、3所示。