涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势

涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势

本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状，其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技术在各行业的应用；从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标；从世界各国涡旋真空泵的发展到我国涡旋真空泵的发展现状，对涡旋无油真空泵的状况有一个系统的介绍。

1、引言

涡旋的概念相当久远，20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由于当时技术水平的限制，涡旋机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制造出第一台模型机构，使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受行业领先者青睐，迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的涡旋压缩机技术与产品弓领了世界涡旋技术实用化的浪潮，带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和产品的更新换代。

今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业，实现了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染，并且抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。 上个世纪90年代初，世界上首台涡旋真空泵推向市场，涡旋技术由此开始作为一种新型真空获得技术在世界范围内被推广应用。到目前为止，世界上涡旋真空泵的生产厂家集中在美国、日本和欧洲，以日本的Anest1wata、美国的Varian、德国的Bush等为代表。产品包括了自0.25L／S-1OL／S系列产品，有些15L／S或更大抽气量的产品也在试验阶段。

2、涡旋无油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特点与应用领域

清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开始，人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时至今日，清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中，涡旋无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域：①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备；②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备；③科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；④医疗设备——牙科仪器、透析机；⑤生物制品行业——材料提纯、药品制备；⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。