涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势

3、涡旋无油真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比

涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。

众所周知，涡旋无油真空泵(OilfreescrolIvacuumpump)与普通油真空泵相比具有显著的特点。下面以普通旋片真空泵为例，说明其差别：

表1涡旋无油真空泵与普通直联式旋片真空泵技术指标的对比

技术指标旋片式油真空泵涡旋无油真空泵

抽速(l/s)2.0，4.0，82.0，4.4，8.7

极限真空度(Pa)0.61.0

使用寿命(h)4000040000

大修间隔(h)800010000

冷却介质油空气

噪声(dB)7560

质量(kg)7041

电机相数31

电压(V)220/380220

功率(kw)1.10.6

转数(r/min)14001437

4、涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题

4.1涡旋无油真空泵性能优越

涡旋真空泵的主要优点是间隙晓、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的陋力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化市连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。

4.2涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在509l左奋涸的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采