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第四章 化学气相沉积？
薄膜的化学气相沉积
化学气相沉积 (Chemical vapor deposition)是利用气态的先驱 反应物，通过原子、分子间化学反应的途径生成固态薄膜的 技术 化学气相沉积法是把含有构成薄膜元素的一种或几种化合物 的单质气体供给基片，利用加热、等离子体、紫外光乃至激 光等能源，借助气相作用或在基片表面的化学反应(热分解或 化合反应)生成要求的薄膜
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