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2010年第9期（总第230期）

农业装备与车辆工程

AGRICULTURALEQUIPMENT&VEHICLEENGINEERING

No．92010（Totally230）

【设计与研究】

doi：10．3969／j．issn．1673－3142．2010．09．001

MEMS传感器技术在汽车上的应用研究与展望

黄军辉，杨旭志，陈述官，廖中文

（广东农工商职业技术学院电子与信息工程系，广东广州510507）

摘要：为了满足汽车电子化、智能化的需要，越来越多的MEMS（微机电系统）传感器应用到汽车上。本文对主要的几种汽车MEMS传感器的应用状况和研究现状进行简述，并且对压力传感器和微加速度计的设计缺陷进行研究。同时，结合MEMS传感器的特点和车载传感器的要求，对汽车MEMS传感器的发展提出几点建议和展望。

关键词：微机电系统；MEMS传感器；汽车；综述中图分类号：U463.6

文献标识码：A

文章编号：1673-3142(2010)09-0003-04

TheResearchandProspectonApplicationsofMEMSSensorTechnologyinAutomotive

HUANGJun－hui，YANGXu－zhi，CHENShu－guan，LIAOZhong－wen

（DepartmentofElectronicsandInformationEngineering，GuangdongAIBPolytechnicCollege，Guangzhou510507，China）

Abstract：Inordertomeettheneedsofautomotiveelectronicsandintelligence，anincreasingnumberofMEMS（MicroElectroMechanicalSystem）sensorsareappliedtothecar．Inthispaper，thepresentapplicationandthecurrentresearchofseveralmajorautomotiveMEMSsensorsareintroduced，andthedesignflowofmicropressuresensorandaccelerometerarestudied．Meanwhile，combinethecharacteristicsofMEMSsensorsandtherequirementsofvehiclesensors，afewsuggestionsandprospectsonthedevelopmentoftheautomotiveMEMSsensorsareoffered．

Keywords：microelectromechanicalsystem；MEMSsensor；automotive；summarize

1引言

近年来，随着汽车电子化、智能化和轻型化程

器,并且汽车越高级，采用的MEMS传感器越多[5]。

目前，MEMS传感器主要有压力传感器、微加速度计、微机械陀螺、静电电机、磁力矩器、电池、多路转换开关和矩阵开关等。汽车上的MEMS传感器主要应用于发动机运行管理、车辆动力学控制、自适应导航、车辆行驶安全系统、车辆监护和自诊断等方面。

度的不断提高，汽车产业对传感器的需求量也越来越大。同时，汽车传感器作为信号转换和获取装置，对汽车安全性、经济性、舒适性等性能的影响也越来越重要[1-2]。

微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,

MEMS)将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现微电子与机械系统的一体化。MEMS传

感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器[3]。MEMS传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使得它们非常适合于汽车方面的应用

[4]

2MEMS传感器在汽车上的应用

MEMS传感器按照测量性质可以分为物理MEMS传感器、化学MEMS传感器、生物MEMS传感器。物理MEMS传感器是汽车上采用得最为