薄膜物理与技术-1 真空技术基础-宋春元-20140909

1 真空技术基础 真空与薄膜材料与技术有何关系？

1.1 真空的基本知识

几乎所有的现代薄膜材料制备都需要在真空或较低的气压条件下进行 都涉及真空下气相的产生、输运和反应过程； 了解真空的基本概念和知识，掌握真空的获得和测量技术基础知识 是了解薄膜材料制备技术的基础！

1.1 真空的基本知识 中学物理内容：1643年 托里切利 (Torricelli) 著名的大气压实验 为人类首次揭示了 真空 这个物理状态的存在！ 管内水银柱上方空间内，因已排除空气的存在而形成真空 (托里切 利真空) 图中A、B、C三点压力相等，A、C点：大气压；B点：水银柱产生 的压力 换句话说：可用水银柱产生的压力 作为 大气压力 的量度! 把高度为760 mm的水银柱所产生的压力定义为1个大气压 (1 atm) 1 atm = 760 mmHg !

结果：得到了“真空”的物理存在和大气压的定义与量度依据！