真空技术的物理基础
第一章真空技术的物理基础 (一) ----气体分子运动论

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杨帮朝,王文生,薄膜物理与技术,电子科技撒 学出版社, 1994年 3。汪贵华的教学手稿,2011年3月 第1章 真空技术的物理基础 ? 简单叙述真空技术的基本理论 ? ...
薄膜物理第1章真空技术基础_物理_自然科学_专业资料。薄膜物理第一章 真空技术基础 ? 真空的基本知识 ? 稀薄气体的基本性质 ? 真空的获得 ? 真空的测量 知识点...
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编者 1993 年 3 月于电子科技大学 2 第一章 真空技术基础 真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等常称为物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称 PVD 法)是基本的...
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