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杨广衍等
摘要：本文总结了涡旋真空泵的工作原理、设计原则与经验、制造要点和使用注意事项;介绍了涡旋真空泵的设计与加工方法；讨论了涡旋盘的加工、密封的设计与选择、间隙的确定以及泵体的动平衡等问题并阐明这些问题是影响泵性能指标的几个重要因素；同时指出了涡旋真空泵使用的几个注意事项。
关键词：真空泵；涡旋技术
1.简介
涡旋真空泵是近年来国内外备受重视并得到迅速发展的一种真空泵。涡旋真空泵具有抽气通道内没有油污染、泵结构简单、运行成本低、工作寿命长、能耗低、运行平稳、噪音低等特点，得到了真空获得行业的欢迎与市场的青睐。而其在设计、制造方面较高的技术含量，也受到国内外科技界的广泛重视。国际上真空获得设备的著名厂商争先投资研发生产这种先进的真空获得设备。到上个世纪后期，真空获得厂商应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染、抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油真空泵的单级、双级涡旋真空泵。涡旋真空泵在需要清洁无油、廉价和长寿命真空泵的场所被大量应用，实现了全无油、运行平稳、噪音低、节省能源的清洁真空获得技术的实用化。现在世界上涡旋真空泵的生产厂家主要包括美国的Varian, 英国的Edwards，德国的Leybold，日本的Iwata等。在这种背景下，本文从我国目前真空获得与应用行业的实际需要出发，介绍了涡旋真空泵的工作原理、设计原则；阐述了涡旋盘的加工、密封的设计与选择、间隙的确定以及泵体的动平衡等几个关键技术问题；同时还论述了正确操作的要点，包括气镇的需要、抽水气的操作和泵与被抽真空室隔离的问题。
2.涡旋真空泵的工作原理
涡旋真空泵的工作原理来源于Creux 1905年的一项发明专利。该发明采用一个在另一个内部，一个固定，另一个转动的具有连续的分离、连续的闭合性能的“等螺距渐开线”，研发一种旋转压缩机。涡旋的形状被定义为绕固定的轴心展开直线的轨迹。涡旋上任意一点的迪卡尔坐标值如下式所示：X= α*
（cosθ+θ*sinθ）Y= α*（sinθ-θ*cosθ）其中常数α代表轴半径，θ代表展
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