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涡旋真空泵的设计与操作

开角。涡旋真空泵的涡旋盘付就是一个一端与平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。

涡旋真空泵的设计与操作

一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交叉组装在一起,两者之间由防自转机构保证180°相位差,这样结合组成的一对涡旋盘付构成了涡旋真空泵的基本抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线上接触形成对称的几对月牙腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动,使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气循环。例如在双级涡旋真空泵中,有两个方向对应的静涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出,完成吸气、压缩、排气的循环。曲轴每转一转,就有一组新的月牙腔形成,所以涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环以近1850转/分的频率被连续重复,对被抽气体形成包容和强制输送。

图1.涡旋真空泵动涡旋盘与静涡旋盘 图2. 涡旋真空泵泵头剖面图

3.涡旋真空泵的设计与加工

涡旋概念对于真空应用真正有吸引力的特性是:

(1)结构简单、工作可靠,零部件数量少

(2)洁净无污染,真空抽气通道内无油

(3)节约能源,一台30 m3/h(8.33 l/s)的涡旋真空泵仅需要0.6~0.75kW的电机

(4)节约运行费用,涡旋真空泵无油工作,密封或冷却都不需要油

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