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真空泵参数计算

介绍了真空泵相关参数计算的基本公式

真空常用公式

1、玻义尔定律

体积V,压强P,P V=常数

一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。

即P1/P2=V2/V1

2、盖 吕萨克定律

当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:

V1/V2=T1/T2=常数

当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩 小)1/273。

3、查理定律

当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即: P1/P2=T1/T2

在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减 少)1/273。

4、平均自由程:

λ=(5×10-3)/P (cm)

5、抽速:

S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P

Q=流量(托 升/秒) P=压强(托) V=体积(升) t=时间(秒)

6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽气时间:

对于从大气压到1托抽气时间计算式:

t=8V/S (经验公式)

V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。

8、维持泵选择:

S维=S前/10

9、扩散泵抽速估算:

S=3D2 (D=直径cm)

10、罗茨泵的前级抽速:

S=(0.1~0.2)S罗 (l/s)

11、漏率:

Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)

Q漏-系统漏率(mmHg l/s)

V-系统容积(l)

P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)

P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

t-压强从P1升到P2经过的时间(s)

12、粗抽泵的抽速选择:

S=Q1/P预 (l/s)

S=2.3V lg(Pa/P预)/t

S-机械泵有效抽速

Q1-真空系统漏气率(托 升/秒)

P预-需要达到的预真空度(托)

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