高频脉冲电镀镍钴合金的内应力

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第3 3卷第 3期 —

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文章编号：6 30 9 f0 9 0—0 40 17—2 12 0}306,4

高频脉冲电镀镍钴合金的内应力 许韵华，小莉，李袁逖 (北京交通大学理学院，北京 10 4 ) 0 0 4

摘

要：究了脉冲频率、酸钴浓度对高频脉冲电镀 N—o复合镀层微观形貌与内应力的影响 .研硫 i C

高频脉冲电镀获得的沉积层表面比直流电镀致密、匀、隙率低、均孔内应力低 .随脉冲频率的升高， N—0层的内应力先减小后增加， i镀 c并在 8 H取得最小值 . 0k z随硫酸钴浓度的增加，层的内应力镀先增大后减小， 3 L取得最大值 .在 0 关键词：高频脉冲电镀； i o N—合金； C内应力 中图分类号： Q1 3 1 T 5 .2文献标志码： A

S u y o n e n lS r s fH i h Fr q e y Pu s t d n I t r a te so g e u nc le El c r f r i - a i e t o o m ng NiCo Pl tng U Yun u h a, LIXi o i YUAN a l, Ti (col f c ne eigJ oogUn es y B i“ 0 04, h a Sho o i c,B in i tn i r t, e ig10 4 C i ) Se j a v i j n

Ab t a t Thei fu nc fp lefe u n y,q ntt fCo 04o c o mo phoo y a d i e na te s sr c: n l e eo u s r q e c ua iy o S n mir— r l g n nt r lsr s

o i h fe u n y p l lc r p a i g NiC o o i o t g wa t de f g r q e c us ee to ltn — o c mp st c a i s su id.Th e u t s o d t e h e e n e r s ls h we h f l wi g d t i .Ast efe u n y i c e s d,t e s ra eo h ltn e d d t e mo ec mp c n o o n e al l s h r q e c n r a e h u fc f e pa i g t n e ob r o a t d t a i t r a te s o h

lt g wa o r n e n l r s f t e p a i sl we .Th n e n l te so h l t g g tt e mi i m t 0 Hz s n e i t r a r s ft ep a i o h n mu a k, s n 8 a d a h r q e c n r a e i t r a t s ft e p a i g d c e s d a is,a d t e n r a e t n s t e fe u n y i c e s d,n e n s r so h l t e r a e t r t n h n i c e s d wih l e n f t e mi i h n mum t8 Hz i t r a te s o hep a i o h x mum tt e c n e t a in o S。 a 0k .n e n lsr s ft l tng g tt e ma i a h o c n r to fCo O4 7H2 3 /L i h a h. 0 0 g n t e b t Ke r: i h fe u n y p le ee to o mi y wo ds h g r q e c u s lc r f r ng;NiCo a ly;i t r a te s— o l n e n s r s l

科技发展对材料的性能提出了更高的要求 . i N. c合金镀层具有许多优良的物理、学和机械性 o化能，具有较广泛的用途…,它具有比亮镍镀层更高的耐蚀性和耐磨性而可用作防护装饰性镀层；有具

( MEMS航空航天等 . )、 脉冲电镀是近几十年发展起来的一种电镀技术.在一个脉冲周期内，电流导通时，当电化学极化增大，阴极区附近金属离子被充分沉积，成结晶细形致的镀层 .电流关断时，当阴极区附近的放电离子又恢复到初始浓度，差极化消除 .冲电镀利用电压浓脉或电流的张弛，增加阴极的电化学极化，降低阴极的浓差极化，到改善沉积层的物理化学性能的目达 的[7 . 51 .

较低的析氢过电位而可用作阴极析氢材料；当镀层 中钴含量在 8%左右时，层具有良好的磁性能 . 0镀

另外， i o N.合金镀层内应力较低， c而且硬度较高， 具有良好的镀厚性能 .电沉积制备的 N. o金具 i合 c

有较高的硬度、优异的磁性能和较高温度下的高强度 4 .。这些特性决定了 N.o i合金可以广泛应用于 c对材料表面

具有特殊要求的领域，如微机械系统 收稿日期：0 80—1 2 0—31

由于脉冲电源制造技术的限制，对脉冲电镀的

研究一般的脉冲电源的频率使用在 lk z H以下的较

基金项目：国家“7” 9 3重点基础研究发展计划项目资助(0 7 B 1 7 5; 2 0 C 7 4 0 )北京交通大学科技基金项目资助 (0 5 M 6 ) 2 0 S 0 0作者简介：许韵华 (9 3 )女， 16一，浙江临安人，高级工程师，博士 . a: x@b ue ua . e iy u j . . m lh t d n