当前位置： 文档下载 > 所有分类 > 自然科学 > 物理 > 材料分析2-6 电子探针显微分析第6章
电子探针显微分析
电子探针(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主 要功能就是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线 光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。
其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元 素的特征X射线，分析特征X射线的波长(或能量)可知元 素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。
其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪， 用来检测X射线的特征波长(波谱仪)和特征能量(能谱 仪),以此对微区进行化学成分分析。
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