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参考书目
半导体器件物理与工艺 施敏 苏州大学出版社 微电子材料与制程 陈力俊 复旦大学出版社 芯片制造-半导体工艺制程实用教程 电子工业出版社 《集成电路制造技术-原理与实践》电子工业出版社 《超大规模集成电路技术基础》 电子工业出版社 《半导体器件基础》电子工业出版社 《硅集成电路工艺基础》 北京大学出版社 《芯片制造—半导体工艺制程实用教程》(第四版), 电子工业出版社 doc.guandang.net半导体技术天地 doc.guandang.net 集成电路教育网
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